Author Affiliations +
V. M. Blanco Carballo,1 J. Bekaert,1 M. Mao,1 B. Kutrzeba Kotowska,1 S. Larivière,1 I. Ciofi,1 R. Baert,1 R. H. Kim,1 E. Gallagher,1 E. Hendrickx,1 L. E. Tan,1 W. Gillijns,1 D. Trivkovic,1 P. Leray,1 S. Halder,1 M. Gallagher,2 F. Lazzarino,1 S. Paolillo,1 D. Wan,1 A. Mallik,1 Y. Sherazi,1 G. McIntyre,1 M. Dusa,3 P. Rusu,3 T. Hollink,3 T. Fliervoet,3 F. Wittebrood3
1IMEC (Belgium)
2Vermont Technical College (United States)
3ASML Netherlands B.V. (Netherlands)